常用缩写
CUP：Central Utility Plant 中央动力厂房
GEX：General EXhaust 普通及热排气
SEX：Scrubber EXhaust 酸排气
VEX：Volatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气
AEX：Ammonia EXhaust 碱性排气
PCW：Process Cooling Water 工艺冷却水
PV：Process Vacuum 工艺真空
HV：House Vacuum 真空吸尘
CW：City Water自来水
FMCS：Faility Monitoring Contro System 厂务监控系统
MCC：Motor Control Center马达控制中心
VFD：Variable Frequency Device 变频器
CCTV：Close Circuit Televsion 闭路电视
PA：Public Adress system 广播系统
FA：Fire Alarmsystem 火灾报警系统
UPW：Ultra Pure Water 超纯水
FWW：Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水
IWW：Industry Waste Water 工业废水
OWW：Organic Waste Water 有机溶剂废水
DAHW：Drain Amonia Hydride Waste含氨废水
RCL：Recycle water制程回收循环水
RCM：Reclaim water制程回收再利用水
HFW：High Fluoride Waste water高浓度氢氟酸废水
BGW：Backgriding Waste water 晶背研磨废水
SAW：Sulfuric Acid Waste water硫酸废液
PAW：Phosphoric Acid Waste water磷酸废液
SWS：tripper Waste water 剥离液废液
TW：Thinner Waste water清洗废液
PIX：Pix waste water PIX废液
SLOW：Oxide slurry waste water 介电质研磨废水
SLWP：Metal slurry waste water金属研磨废水
SLWP：Poly slurry waste water 多晶硅研磨废水
PN2：Process N2制程用氮气
GN2：General N2一般用氮气
CDA：Com pressor Dry Air 压缩干燥空气
VMB：Valve Manifold Box阀箱
空调系统
AHU：Air Handling Unit 空调箱
MAU：Make-upAir Unit外气空调箱
VAV：Variable Air Volumebox可变风量风箱
FFU：Fan Filter Unit风机过滤器
HEPA：High Efficiency Particulate Filter高效率过滤器
ULPA：Ultra Low Penetration Filter超高效率过滤器
A/S：AirShower 空气浴尘室
CUP：Central Utility Plant中央动力厂房
电力系统
FMCS：Faility Monitoring Control System厂务监控系统
MCC：Motor Control Center马达控制中心
VFD：Variable Frequency Device变频器
CCTV：Close Circuit Televsion闭路电视 本地监控
SCADA：SupervisoryControl And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系
MCC：Motor ControlCenter马达控制中心
VFD：Variable Frequency Device变频器
水处理系统
UPW：Ultra Pure Water超纯水
RO：Reverse Osmosis 逆渗透膜
TOC：Total Organic Carbon总有机碳
MB：Mixed Bed 混床
UF：Ultra Filtration超滤
SC：Strong Cation 强阳离子
SA：Strong Anion强阴离子
WA：Weak Anion 弱阴离子
DO：Dissolved Oxygen溶解氧
MD：MembraneDegasify 脱气膜
GF：Gravity Filter 重力式过滤器.
DI：Deionize 去离子水
气体/化学系统
CQC：Continuous Quality Control连续品质控制系统
VMB：Valve Manifold Box阀箱
VMP：Valve Manifold Panel阀盘
GMS：Gas Monitoring System气体监测系统
CDS：Chemical Dispense System化学系统
SDS：Slurry Dispense System化学研磨系统
环境安全卫生
ESH：Environment Safety Health 环境安全卫生
SCBA：Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器
AHU：Air Handling Unit空调箱
MAU：Make-up Air Unit外气空调箱
VAV：Variable Air Volumebox 可变风量风箱
FD：Fire Damper 防火风门
FSD：Combined Fire Smoke Damper防火防烟风门
SD：SmokeDamper防烟风门
PHX：Platedtype Heat Exanger 板式热交换器
FFU：Fan Filter Unit风机过滤器
HEPA：High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器
ULPA：Ultra Low Penetration Filter超高效率过滤器
A/S：Air Shower空气浴尘室
A/L：Air Lock 气闭门室
DCC：Dry Cooling Coil 干盘管
FCU：Fan Coil Unit小型冷风机
SF：Smoke Fan消防排烟风车
EF：Exhaust Fan 通风排气风车
CUP：Central Utility Plant 中央动力厂房
GEX：General EXhaust 普通及热排气
SEX：Scrubber EXhaust 酸排气
VEX：Volatile orgaic compound EXhaust有机溶剂排气
AEX：Ammonia EXhaust碱性排气
PCW：Process Cooling Water工艺冷却水
PV：Process Vacuum 工艺真空
HV：House Vacuum真空吸尘
CW：City Water自来水
FMCS：Faility Monitoring Control System厂务监控系统
MCC：Motor Control Center 马达控制中心
VFD：Variable Frequency Device变频器
CCTV：Close Circuit Televsion 闭路电视
PA：Public Adress system 广播系统
FA：Fire Alarmsystem 火灾报警系统
UPW：Ultra Pure Water超纯水
RO：Reverse Osmosis逆渗透膜
TOC：Totalorganic carbon 总有机碳
MB：Mixed bed 混床
UF：Ultrafiltration超滤
SC：Strong cation 强阳离子
SA：StrongAnion 强阴离子
WA：Weak Anion 弱阴离子
DO：Dissolved oxygen溶解氧
MM：embrane Degasify脱气膜
GF：Gravity Filter重力式过滤器.
DI：Deionize 去离子水
FWW：Fluoride Waste Water低浓度氢氟酸废水
IWW：Industry Waste Water 工业废水
OWW：Organic Waste Water有机溶剂废水
DAHW：Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨废水
RCL：Recycle water制程回收循环水
RCM：Reclaim water 制程回收再利用水
HFW：High Fluoride Waste高浓度氢氟酸废液
BGW：Backgriding Waste water 晶背研磨废水
SAW：Sulfuric Acid Waste硫酸废液
PAW：PhosphoricAcid Waste 磷酸废液
SW：Stripper Waste 剥离液废液
TW：Thinner Waste 清洗废液
PIX：PIX wastePIX废液
SLW：OSLurry Wastewater Oxide 介电质研磨废水
SLW：MSLurry Wastewater Metal 金属研磨废水
SLW：PSLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨废水
PN2：Process N2制程用氮气
GN2：General N2 一般用氮气
CDA：Compressor Dry Air压缩干燥空气VMBValve Manifold Box分流阀组箱
ESH：Environment Safety Health环境安全卫生
SCBA：Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器
ISO：International Organization for Standardization国际标准化组织
END